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DIN 50451-6
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
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| Status: | Standard |
| Released: | 2014-11 |
| Standard number: | DIN 50451-6 |
| Language: | German |
| Name: | Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure |
| Pages: | 14 |
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